X線回折法による薄膜の測定(その４)

はじめに

材料の薄膜化の技術の進歩はめざましく, X線回折法はこれらの薄膜材料の化合物形態, 結晶性, 配向性など結晶に関する情報を得る手段として多く使われています。このような薄膜の表面の分析感度を高める手法として薄膜X線回折法が活用されております。ここでは理論的な分析の深さと薄膜X線回折法の測定例について紹介します。

2006.07.31