化合物系（CIGS）太陽電池の蛍光Ｘ線分析

はじめに

現在実用化されている太陽電池の多くはシリコンを用いたものですが，近年シリコンを使用しない化合物系の太陽電池が注目されています。化合物系太陽電池は，スパッタリング等によって基板上に薄膜状に化合物を堆積させて作られています。CIGS薄膜を非破壊で迅速に測定するには，エネルギー分散型蛍光X線分析装置が大変便利です。ここでは，Cu，In，Ga，Seを使用したCIGS層およびMo裏面電極層を薄膜FP法により膜厚と組成を同時に定量分析を行い，その繰り返し測定の再現性を確認した例を示します。

2010.11.14