ねじ山の三次元形状観察と精密計測－散乱光を利用したレーザー顕微鏡－

はじめに

ねじ山の寸法や角度などの形状計測は対象に応じてゲージや測定顕微鏡などが用いられています。しかし、ねじ山の三次元形状を忠実に、精度よく取得できる手法は少ないのが現状です。これは、ねじ山の深さとピッチが大きいものから小さいものまで種類も多く、また傾斜角度も大きいために接触式では計りづらく、光学的な手法でも光の反射が得にくいなどの理由によるものです。 レーザー顕微鏡（LSM: Laser Scanning Microscope）は、横（XY）方向と高さ（Z）方向の分解能に優れ、また非接触法であるために様々な試料の形状評価が高精度に行えます。 3D 測定レーザー顕微鏡 OLS シリーズでは、通常の正反射レーザー光（正反射光）を検出する観察法に加え、散乱レーザー光（散乱光）による LSM 観察が可能です。散乱光を検出することで、光の反射が得られにくいねじ山でも、三次元形状が容易に取得できます。

2017.06.05