X線回折法による薄膜の測定（その5）

はじめに

近年、X線入射角度を試料面に対して低角にして、X線侵入深さを浅くすることにより表面感度を高める薄膜X線回折法が多く利用されております。本法を用いた応用例は島津アプリケーションニュースNo.135、157に示しましたが、今回は薄膜の厚みの情報を求めた例について紹介いたします。

2006.07.31