レーザー顕微鏡による大面積の形状評価－ OLS シリーズの超高速モードによる三次元形状取得－

はじめに

レーザー顕微鏡（LSM：Laser Scanning Microscope）は，横（XY）方向と高さ（Z）方向の分解能に優れ，また非接触法であるために柔らかい材料でも形状評価が簡単に行えます。これらの特長により，三次元形状評価に向いています。三次元表面性状パラメータ（以下，表面粗さ）は二次元の線粗さと比較した場合，三次元であるために情報量が多く，工業分野での利用がますます盛んになっています。 LSM による形状評価では，要求される評価高さや面積が大きい場合，条件によっては時間がかかるなどのストレスを感じられることも多いのが現状です。このために短時間に，信頼性ある数値が得られる方法が望まれます。今回，この問題を解決する超高速モードをご紹介します。また，評価面積を大きくすることで試料表面形状を代表した表面粗さが得られることを，加工紙を例にご紹介します。

2016.07.12