複雑な形状の表面粗さ評価と磨耗痕評価- OLS シリーズ専用長作動対物レンズの応用例 -

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はじめに

製品や部品の粗さなどの形状評価は、その部品を破壊せずに行いたい場合がほとんどです。部品の多くは複雑な形状です。そのため、形状評価が行える測定機が少ないのが現状です。3D 測定レーザー顕微鏡 OLS シリーズは、種類が豊富な対物レンズを利用し、ミリメートルからサブマイクロメートルまでの形状の精密測定を非接触で高速に行える装置です。今回、OLS シリーズ専用長作動対物レンズを利用し、ドライバー部品の表面粗さ評価と摩耗痕の評価を行った例を紹介します。

2018.11.14

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