粗さパラメータの視覚化ー粗さ比較に最適なパラメータを提案しますー

はじめに

3次元表面性状パラメータ（以下，粗さパラメータ）は，2012年から国際規格（ISO）での制定が始まり，これらは順次，日本工業規格（JIS）化が開始されています。粗さパラメータは，レーザー顕微鏡（LSM）と原子間力顕微鏡（AFM）に代表される面方式で規格化されており，現在，23種類のパラメータが規格化されています。LSMとAFMは，ひろく工業分野で用いられており，面方式による粗さ評価は重要になってきています。“粗さパラメータの中のどれを使って比較を使えば良いか？” 粗さの数値を見ていると，このような迷いをよく経験します。島津レーザー顕微鏡（OLS）とナノサーチ顕微鏡（SFT）は粗さパラメータ比較機能を提供しています。この機能を利用すると，粗さパラメータはグラフにより視覚化され，比較に最適なパラメータの選択が簡単に行えます。本報では，粗さパラメータの視覚化により，3種類の塗膜の比較に最適な粗さパラメータの探索を行った例を紹介します。

2015.01.25