EDXによるフッ素の定量分析

ユーザーベネフィット

- イオンクロマトグラフ、 SEM-EDSでは溶液化や切断など煩雑な前処理が必要ですが、EDXでは直接分析が可能です。 - 固体、粉体、膜など試料形態を問わず、含有量が1%以下のフッ素の定量分析ができます。 - 装置の操作も簡単で、どなたでもすぐに分析が可能です。

はじめに

フッ素化合物は、難燃性、撥水性、防汚性、耐熱性など、あらゆる特性を持つ物質で、日用品から半導体まで幅広い分野で利用されています。フッ素化合物の分析には主に、イオンクロマトグラフやSEM-EDSなどが使われますが、測定には煩雑な前処理が必要です。 一方、エネルギー分散型蛍光X線分析装置(EDX)は化学的な前処理無く分析を⾏うことができる事が特⻑です。一般に分析が難しいフッ素についても、軽元素の分析を得意とするEDX-8000/8100では定量が可能です。 本稿では分析例として、 1. 粉末試料中のフッ素定量分析(検出下限、再現精度) 2. フッ素樹脂コーティング剤の付着量分析(FP法による付着量定量、検出下限、再現精度)の2例を紹介します。

2021.06.19