A001 SPMとSEMの画像比較

はじめに

ＳＰＭ（走査型プローブ顕微鏡）とＳＥＭ（走査電子顕微鏡）を較べると、ＳＥＭはその歴史も長くあらゆる面で完成の域にあります。 一方、ＳＰＭにおいては発展途上であり、ハードウエアやソフトウエアの開発だけではなく、アプリケーション技術の開拓も目を見張るものがあります。そして、ＳＰＭはＳＥＭの歴史の上を辿るだけではなく、まったく新しい方向へと進むものと期待されています。それは、名前からは似た装置と受け取れますが「探針プローブ」と「電子プローブ」の違いは、似た部分が有ると共にまったく違う部分の二面性を持っているからです。 本稿では、身近な昆虫の複眼を観察することで両装置を比較し、更にＳＰＭについてはＳＥＭでは得られない高さ解析手法の一例をご紹介致します。 この昆虫の複眼の観察例が、あらゆる材料の観察・測定に通じることは言うまでもありません。

2021.03.28