島津マイクロフォーカスX線VCT-SVユニットによるチップインダクターの内部観察

はじめに

島津マイクロフォーカス X 線透視装置用縦型 CT ユニット（VCT-SV）は、高精度ステージ機構と超高速 CT 処理システム CT－Solver を装備した、高速で高分解能な CT 画像を撮像できる後付け可能なオプションユニットです。 ここでは、島津マイクロフォーカス X 線透視装置 SMX-160GT に VCT-SV ユニットを取付け、小型電子部品の精密な検査を行なった例をご紹介します。

2021.03.28