マイクロオートグラフMST-Iを使ったマイクロスイッチの精度確認と研磨布弾力性の評価

はじめに

島津微小強度評価試験機マイクロオートグラフ MST-I はマイクロ、ナノレベルの強度評価を目的に開発された試験機です。 この試験機では、負荷方向の変位測定に高精度のリニアセンサを採用、変位表示分解能 0.02μm を実現しています。 また、高性能ロードセルによって最小 2mN から±1％の精度を保証しています。 さらに、データ処理ソフト TRAPEZIUM2 を組合わせることによって、幅広いアプリケーションへの対応が可能になっています。 今回は微小領域の評価例としてマイクロスイッチの動作精度の確認と精密研磨に使用される研磨布の弾性性評価について報告します。

2021.03.28