マイクロオートグラフを使った金属極細線の引張強度試験

はじめに

21 世紀の注目される素材として金属極細線があります。最先端の半導体製品をはじめ、家電、自動車、事務用品、OA 用、衣料、プラズマディスプレーの製造工程などに使用される高精度・高品位のマイクロメッシュなどがあります。ここでは微細部品や材料の強度試験をするため開発された島津微小強度評価試験機マイクロオートグラフ MST-I を使用して金属極細線、（直径 20μm と 30μm）引張強度試験を行った結果を報告します。 ここで使用したマイクロオートグラフの負荷ロッド位置検出性能は、表示分機能 0.02μm、制御分解能 0.005μm、変位検出精度 0.2μm というものです。

2004.03.27