ICPE-9000による化合物系（CIGS）太陽電池の分析

はじめに

太陽電池ではシリコンを使用しない化合物系が注目されています。Cu, In, Ga, Seを使用したCIGS太陽電池もそのひとつです。発電効率の向上等には，これらの成分比が重要になってきます。EDX（エネルギー分散型蛍光X線分析装置）で，このCIGS薄膜を非破壊で直接測定することは可能ですが，正確度等が要求される場合には，薄膜を溶液化し，濃度が保証された標準液で検量線を作成し定量する方法が確実です。この溶液化した試料の測定方法として複数の元素を同時分析できるICP発光分光分析法が有効です。 ここでは，ガラス基板上に成膜されたMo裏面電極層およびCIGS層を酸で溶解したものを，島津マルチタイプ発光分析装置ICPE-9000で分析した例をご紹介します。

2010.07.21