高感度微量水分測定システムの分析例フロンガス/高純度窒素ガス中水分量測定

はじめに

高感度微量水分測定システムは微量水分測定のためのサンプリングシステムを採用することで試料導入時の水分混入を防ぐことが可能です。また、イオン液体カラムの採用により水分と夾雑成分の分離を、島津オンリーワンの検出器であるバリア放電イオン化検出器（BID-2030）の採用により高感度微量水分の検出を実現しました。 フロンガスや窒素ガスは化学分野・半導体分野において、広く使用されますが、ガス中に水分が含まれることが使途の妨げになる場合があり、ガス中の水分量を簡便にかつ正確に測定可能な計測システムが求められています。他の水分計では水分以外の夾雑成分の影響を受け測定自体が困難な場合もありますが、高感度微量水分測定システムは夾雑成分の影響を抑え、正確な測定が可能です。 ここでは高感度微量水分測定システムを用いた標準ガス（フロンガス／高純度窒素ガス）に含まれる微量水分の高感度測定例をご紹介します。

2018.01.25