KRATOS ULTRA2 （英国名AXIS Supra+） - 仕様

イメージングX線光電子分析装置

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主な仕様

    • エネルギーアナライザー
      形式：180°静電半球型＋球面鏡アナライザー
      中心軌道半径：165 mm
      インプットレンズ：静電レンズ及び磁場レンズ
      検出器：ディレイラインディテクター（128 ch）
      分析径： Slot（700x300 um）、110 um、55 um、27 um、15 um
       
    • モノクロメーターX線源
      アノード：Al（オプション：Al/Agデュアル）
      アノード・結晶調整機構：全自動モーター駆動
      Rowland径：500mm
      最大出力：600W
       
    • スパッタリングイオン銃（Minibeam 4）
      形式：低エネルギー差動排気型フローティングイオン銃
      加速電圧：500 ～ 4,000V
      ガスコントロール：ピエゾ電子制御バルブによる自動コント ロール
       
    • 試料分析チャンバー
      材質：ミューメタル
      真空ポンプ：ターボ分子ポンプ＋ロータリーポンプ
       
    • 試料ステージ
      形式：X、Y、Z、θ、⌀ 5 軸自動ステージ
      標準試料（試料ステージ上に常備）：Ag、Au、Cu、グリッド、ファラデーカップ
       
    • 試料導入室
      同時排気ホルダー数：3枚
      真空ポンプ：ターボ分子ポンプ＋ロータリーポンプ
       
    • 試料観察システム
      カメラ位置：試料導入室および分析室
       
    • データ処理システム
      ESCApeデータ処理システム

設置仕様

  • 設置スペース 5.0m（W）× 3.0m（D）× 2.5m（H）以上
    搬入口 幅140cm × 高さ198cm以上
    重量 1200kg（装置本体、標準構成の場合）
    電源 単相 AC200V、50A（装置本体用）

  • X線装置設置の届出義務について

    X線装置は、設置するにあたり、所轄の労働基準監督署へ設置届の提出が義務付けられています。（独立行政法人以外の官庁関係への設置の場合は、人事院への届出が必要です。）

寸法・設置例

寸法・設置例

Specifications

X-ray photoelectron spectroscopy (XPS)

Spectroscopic performance is defined as counts per second for a FWHM measured for the Ag 3d5/2 component.
The AXIS Supra+ has market leading large area (700 x 300 um) spectroscopy performance.
Selected area modes (diameter) 110 um, 55 um, 27 um and 15um.
XPS parallel imaging

Ultimate spatial resolution of parallel imaging mode is 1 um.
Imaging fields of view are ca. 400 x 400 um, 200 x 200 um and 80 x 80 um.
Performance on insulators

The AXIS Supra+ has an electron only charge neutralisation system. Performance of the charge neutraliser system is confirmed on the standard polymer, polyethylene terephthalate (PET).
Sample handling

5-axis, motorised precision manipulator integrated with fully automated sample exchange for up to 3 sample holders.
Ion source

Minibeam 4 monatomic Ar+ ion source or Minibeam 6 multi-mode Gas Cluster Ion Source (GCIS) for sample cleaning and sputter depth profiling.

Kratos Analytical has a policy of continuous product improvement and therefore reserves the right to make alterations to specifications without notice. Please contact us to request the latest AXIS Supra+ specification sheet.

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