KRATOS ULTRA2 (英国名AXIS Supra+) - オプション
イメージングX線光電子分析装置
オプション
- スパッタリングイオン銃
- 試料調整・前処理機構
- ● Minbeam 4(標準装備)
イオン種:Ar 単原子イオン
加速電圧:500 ~ 4,000V
● Minbeam 6(オプション)
イオン種:アルゴンガスクラスターイオン、Ar 単原子イオン
クラスターサイズ: 500 ~ 3,000
加速電圧:500 ~ 20,000V - ● 分析室内試料加熱冷却機構(+800℃~ -100℃)
● 試料導入室内試料加熱冷却機構(+800℃~ -100℃)
● 高圧ガス反応セル
● 特別大型試料前処理室( Surface Science Station)
● 試料導入室直結グローブボックス(雰囲気制御可能)
● エアセンシティブサンプルトランスポーター
(真空保持またはガス置換型)
● ブロードスポットイオン銃
● 結晶へき開・研磨装置
- マルチテクニック対応
- 試料ホルダー
- ● 紫外光源:UPS(紫外線光電子分光法)
● フィールドエミッション電子銃:
AES(オージェ電子分光法)、
SAM(スキャニングオージェ電子分光法)、
SEM(2 次電子顕微鏡)
● ISS( イオン散乱分光)
● LEED(低速電子線回折)
● SIMS(二次イオン質量分析法)
● IPES(逆光電子分光)
● REELS(反射電子エネルギー損失分光法) - ● 温度制御マルチコンタクト(多極通電)試料ホルダー
● シャトルホルダー
● 温度制御マルチコンタクト(多極通電)シャトルホルダー
● 粉末用シャトルホルダー
- X 線源
- Surface Science Station
- Al/Ag デュアルアノードモノクロメーター
(高エネルギーXPS 対応)
● Mg/Al デュアルアノードアクロマティックX 線銃
● 高輝度モノクロメーターX 線源 - 分析室直結型の多目的大型試料処理室です。
試料前処理機構や分光器を追加することにより、多様な実験ニー
ズに対応する環境を構築することができます。● 独立真空排気システム
● 手動試料ステージ
● 蒸着装置
● LEED
● SIMS
● IPES
● 結晶へき開・研磨装置
- データ処理システム
- ● ESCApe オフラインデータ処理パッケージ
● CasaXPS データ処理ソフトウエア
● MEM( Maximum Entropy Method)角度分解XPSデータ処理
ソフトウエア