観察例
ITO薄膜観察例
ITO薄膜観察例
透明導電性膜として知られているITO薄膜は、成膜手法、膜厚、基板温度などの成膜条件により表面形状が異なります。膜厚が120nm(左)と450nm(右)のITO薄膜を比較すると、膜厚の増加に伴い個々の結晶粒(グレイン)が大きく成長している様子が良くわかります。また、スパッタリング法に特有のグレイン−サブグレイン構造が明瞭に観察されています。
(青山学院大学 理工学部 化学科 重里先生 ご提供)
 

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