ITO薄膜観察例

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ITO薄膜観察例

透明導電性膜として知られているＩＴＯ薄膜は、成膜手法、膜厚、基板温度などの成膜条件により表面形状が異なります。膜厚が120nm（左）と450nm（右）のITO薄膜を比較すると、膜厚の増加に伴い個々の結晶粒（グレイン）が大きく成長している様子が良くわかります。また、スパッタリング法に特有のグレイン－サブグレイン構造が明瞭に観察されています。
（青山学院大学理工学部化学科重里先生ご提供）

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