観察例
電位による描画
電位による描画
図1 図2 図3

シリコン基板上の金蒸着面を試料として、ベクタースキャンにより図1のような軌跡の描画を行いました。 このとき、導電性のカンチレバーを用いて、試料とのあいだに微小電位を与えています。 描画後、AFMとKFMの同時測定を行うと、 AFM像(図2)の形状観察には変化は認められませんが、KFM像(図3)の電位測定では描画の軌跡の電位が周辺より50mV程度低く測定されました。

 

島津製作所 表面/組成分析機器 SPM資料室 >>