OLS資料室

○ 半導体 / FPD

1. ウエハバンプ（対物レンズ100X / 光学ズーム1.5X / 走査エリア85 µm×85 µm）
2. 導光板（対物レンズ50X / 光学ズーム1X / 走査エリア256 µm×256 µm）
3. チップパッド（対物レンズ50X / 光学ズーム2X / 走査エリア128 µm×128 µm）
4. 導光板レーザードット（対物レンズ100X / 光学ズーム1X / 走査エリア128 µm×128 µm）

○ 電子部品 / MEMS

1. フォトマスク（対物レンズ20X / 光学ズーム1X / 走査エリア640 µm×640 µm）
   サンプル提供 株式会社コシブ精密（P.3およびP.24上図）
2. マイクロレンズ（対物レンズ100X / 光学ズーム1X / 走査エリア128 µm×128 µm）
3. フレキシブル基板コネクタ部（対物レンズ50X / 光学ズーム1X / 走査エリア256 µm×256 µm）
4. MEMS（微小電子機械素子）（対物レンズ20X / 光学ズーム1.3X / 走査エリア483 µm×483 µm）

○ 素材 / 金属加工

1. ダイヤモンド電着工具（対物レンズ50X / 光学ズーム1X / 走査エリア256 µm×256 µm）
2. カーボン（対物レンズ100X / 光学ズーム1X / 走査エリア128 µm×128 µm）
3. 極細パイプ（対物レンズ100X / 光学ズーム1X / 走査エリア128 µm×128 µm）
4. 粘着テープ（対物レンズ50X / 光学ズーム2X / 走査エリア128 µm×128 µm）

5. 紙ヤスリ#400（3D）（対物レンズ20X / 光学ズーム1X / 走査エリア640 µm×640 µm）
6. 紙ヤスリ＃400（2D）（対物レンズ20X / 光学ズーム1X / 走査エリア640 µm×640 µm）
7. 高密度繊維（3D）（対物レンズ20X / 光学ズーム1X / 走査エリア640 µm×640 µm）