バンドギャップ計算Excelマクロ
UVシリーズ セミカスタム品
バンドギャップとは,電子の充満した価電子帯の最上部と電子の存在しない伝導帯の最下部との間のエネルギー差を指します。
これは物質の電気伝導性に関係する量であり,一般に金属ではバンドギャップが無く,絶縁体はバンドギャップが大きな値となることが知られています。半導体はその中間的な値を取ります。半導体材料の拡散反射スペクトルからバンドギャップを求めるためのExcel用のマクロプログラムです。
仕様

UVProbeで取得したスペクトル(*.spc)をSPCTransソフトウェアでCSV変換したもの(以下,スペクトルデータ)を読み込みます。 読み込んだスペクトルデータに対し,Taucプロットを使ったバンドギャップ値計算を行います。
Taucプロット上の接線(1)とベースライン(2)の交点におけるX座標をバンドギャップ値とします。(1)および(2)はユーザーが指定した区間のデータ点を使った最小二乗近似直線です。
アプリケーション
- アプリケーションニュース No.A483 多結晶シリコンウェハのバンドギャップ測定
- アプリケーションニュース No.A460 二酸化チタンのバンドギャップ測定