バルブの故障診断
AFCのとき¶
安全のためボンベ元栓を閉じてください。
試料気化室のカラム接続部を開放し、カラム入口圧モニタ値が下がることを確認してください。(圧力モニタ値が下がらない場合は、オフセットキャリブレーションを実行してください。)
圧力モニタ値が下がった場合は、再度カラム接続部にカラムを接続(または密栓)し、AFCへガスを供給してカラム入口圧が上昇するかどうか確認してください。
カラム入口圧が上昇する場合は、バルブ不良または基板不良の可能性があります。
DETAPC(ECD/BID)のとき¶
ECDまたはBIDのバイパスユニットの設定値が大きくずれている可能性があります。
ECDまたはBIDのバイパスユニットのマニュアル弁を全閉にしてください。
その後、APC流量モニタ値が減少するかどうか確認してください。
APC流量が減少しない場合は、バルブ不良または基板不良の可能性があります。
DETAPC(ECD/BID以外)のとき¶
安全のためボンベ元栓を閉じてください。
APC流量モニタ値が減少しているかどうか確認してください。
APC流量が減少しない場合は、バルブ不良または基板不良の可能性があります。
AUX-APCのとき¶
安全のためボンベ元栓を閉じてください。
AUX-APC出口が大気解放されていることを確認してください。
APC出口が大気開放されている状態で圧力モニタ値が減少しない場合は、バルブ不良または基板不良の可能性があります。