DET#n STCD フィラメント温度ワーニング[エラーコード:9100 9101 9102 9103]

原因

STCD検出器のフィラメント温度と検出器温度の差が小さいため、フィラメントをONできません。

対策

フィラメント制御モードが標準の場合

STCD検出器温度を使用可能最高温度以下に変更してください。

メイクアップガス種 使用可能最高温度
He 400℃
N2 330℃
H2 400℃
Ar 330℃

フィラメント制御モードがカスタムの場合

STCD検出器のフィラメント温度と検出器温度の温度差が許容温度差以上となるように変更してください。
(フィラメント温度 - 検出器温度 >= 許容温度差)

メイクアップガス種 許容温度差
He 30℃
N2 100℃
H2 30℃
Ar 100℃