SCDオゾンスクラバーの使用時間が設定したしきい値を超えました。
真空ポンプからの排気にオゾンが混入するリスクが増大しています。 オゾンスクラバーの充てん剤を交換し、カウント値をリセットしてください。
オゾンスクラバーの交換
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［SCD交換部品カウンタ］画面