SCD真空ポンプ使用時間超過です[エラーコード:9071]

SCD真空ポンプの使用時間が設定したしきい値を超えました。

装置の主電源を切り、ガスの供給を停止し、当社営業所、代理店、当社指定のサービス担当店に、
真空ポンプのメンテナンスを依頼してください。メンテナンス後、カウント値をリセットしてください。

HOMEボタン＞［検出器］＞［サブメニュー］＞［SCD交換部品カウンタ］と押し、［SCD交換部品カウンタ］画面を表示させてください。