SCD真空ポンプの使用時間が設定したしきい値を超えました。
装置の主電源を切り、ガスの供給を停止し、当社営業所、代理店、当社指定のサービス担当店に、 真空ポンプのメンテナンスを依頼してください。メンテナンス後、カウント値をリセットしてください。
HOMEボタン>[検出器]>[サブメニュー]>[SCD交換部品カウンタ]と押し、[SCD交換部品カウンタ]画面を表示させてください。
[SCD交換部品カウンタ]画面