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放電ガス流量が不足しています[エラーコード:4213]

原因¶

下記理由により圧力や流量が設定値まで到達できていない可能性があります。

• ガスの供給圧力が不足している。
• 配管接続部に漏れがある。
• 供給配管の抵抗が大きい（接続している配管内径が細い、長い）。

対策¶

• ガスの元栓が開いていることを確認してください。
• ガスの供給圧力が以下の表の範囲に入っていることを確認してください。
  
  

  
  
  
  

  
• ヘリウムガス精製機 HP2を使用している場合は、配管接続部から漏れがないか確認してください。
• 配管接続部に緩みや漏れがないか確認してください。
• 当社指定のサービス担当店に連絡し、使用している配管内径、長さを確認してください。