DET#n点灯に失敗しました[エラーコード:4208 4209 4210 4211]

原因

BIDのプラズマが点灯しませんでした。

対策

上記確認後点灯しないときは、ヘリウム精製機などの故障の可能性があります。装置の主電源を切り、ガスの供給を停止し、当社営業所、代理店、当社指定のサービス担当店に連絡してください。