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DET#n FTD過電流を検出しました[エラーコード:4105 4106 4107 4108]

原因¶

検出器の電流値が異常です。
FTDを使用中に、フィラメント抵抗値が異常に大きくなると、フィラメントの損傷を防止するために保護回路が動作します。

対策¶

装置の主電源を切り、以下の項目を確認してください。

• 電流の設定値が最高使用電流を上回っていないか。
• メイクアップガスが流れているか。
• ガスが漏れていないか。

上記の確認後、装置の主電源を入れます。
引き続きエラーが表示されるときは、当社営業所、代理店、当社指定のサービス担当店に連絡してください。