DetAPCn ECDガスバルブが正しく閉じられていません[エラーコード:2160 2161 2162 2163]
原因¶
バイパス流路より供給している検出器ガス流量が安定していません。
もしくは検出器用APCのECDガス制御用バルブが内漏れしています。
対策¶
ECDガス流量をOFFにした状態でECDバイパスユニットのつまみを全閉にし、ECDガス流量モニタ値が減少するか確認してください。
ECDガス流量モニタ値が1mL/min未満まで減少するときは、バイパスユニットのつまみを回してECDガス流量モニタ値が5～10mL/minになるようにスイープガス流量を再度調整してください。
ECDガス流量モニタ値が1mL/min未満に減少しないときは、ハードウェアの故障の可能性があります。
装置の主電源を切り、ガスの供給を停止し、当社営業所、ガス供給を停止し、代理店、当社指定のサービス担当店に連絡してください。