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DetAPCn 放電ガスが正しく制御できません[エラーコード:2152 2153 2154 2155]

原因¶

BID用検出器ガス制御用フローコントローラの流量が安定していません。

対策¶

• BID検出器ガスの供給圧力が下記の範囲に入っていることを確認してください。
  
  

  
• BID検出器ガスを流すために必要な供給圧力となっていることを確認してください。
  
  

  
• ガスの供給が安定していることを確認してください。
• BIDスイープガス流量が5～10mL/minになっていることを確認してください。スイープガス流量の確認方法および調整方法は、以下を参照してください。
  BIDのスイープガス

上記確認後も繰り返しエラーが表示されるときは、装置の主電源を切り、ガスの供給を停止し、当社営業所、代理店、当社指定のサービス担当店に連絡してください。