xxx MMIが目標温度に到達しません[エラーコード:1072 1073]
原因¶
以下のいずれかの理由により、設定温度まで到達できていない可能性があります。
- 冷媒が枯渇している、または枯渇しつつある
- 空冷配管や液体窒素配管から冷媒が漏れている
- 冷却タイムアウト時間の設定が短い
- 電磁弁が故障している
対策¶
- 冷媒の残量が十分か確認してください。
- 空冷配管および液体窒素配管の接続部に緩みや漏れがないか確認してください。
- MMIの冷却タイムアウト時間が短い時間となっていないか確認してください。
問題が解決しない場合は、装置の主電源を切り、ガスの供給を停止し、当社営業所、代理店、当社指定のサービス担当店に連絡してください。