ウェハ上に付着した微量有機物の解析

ウェハ上に付着した微量有機物の解析

シリコンウェハが接する大気には,周辺の材料・装置・人体などから発生する有機系化合物が含まれて居ます。8インチシリコンウェハーをウェハ加熱板に押し付けウェハの片面から発生する揮発性ガスを捕集し,ガスクロマトグラフ質量分析計(GC/MS)で分析しました。
C12(1-Dodecene),環状ジメチルシロキサン(n=6)およびジカルボン酸エステルはウェハキャリヤなどのプラスチック部品から揮発したものと推定されます。

シリコンウェハー上に付着した微量有機物

ガスクロマトグラフ質量分析計

ウェハ上に付着した有機物をディスクを加熱した時に生じるガス(アウトガス)として測定し,スペクトルより有機物の同定が可能です。サンプリングにはアウトガス捕集用の装置を使用します。Ngオーダーの定量が可能です。
 

 

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