１回反射ＡＴＲ法によるシリコン表面の分析

はじめに

ATR法は試料の前処理を必要とせず，厚さ1μm程度の薄膜を透過測定したスペクトルと同じようなスペクトルが容易に得られることや，試料表面に関する情報が得られることなどから広く使われています。また，1回反射タイプのATR測定装置の登場により、多重反射タイプでは難しかった，試料の大きさが1mm以下の微小物や表面が粗面もしくは湾曲したような試料のスペクトルも簡単に得られるようになりました。 今回は1回反射ATR法の持つ「密着性の良さ」を生かしたシリコン表面分析例をご紹介いたします。

2005.04.09