IRTracer-100
赤外顕微鏡は試料サイズ10μm程度までの微小物、微小領域の赤外スペクトルを測定することができます。試料の状態や分析目的に合わせて、透過法、正反射法、ATR法などの測定手法を選択することができるため、さまざまな状況、状態で発生する異物などの不良解析に対応することができます。今回は、赤外顕微鏡を用いたATR法によるガラス基板上微小付着物の分析例をご紹介します。
2010.03.14
