顕微ATR法によるマイクロアナリシス

はじめに

FTIR－赤外顕微鏡は，微小部分，微小異物の測定法として不可欠のものになってきています。　今回は，通常用いられる透過法，反射法では分析が困難な試料表面を，顕微ATR法（全反射法）で分析したマッピング測定と，溶媒を用いることによる密着の改善例について紹介します。 これまで，赤外顕微鏡による微小部分の分析は，スポット的な測定がほとんどでした。 しかし，他の分析手法でよくとられる，線分析，あるいは面分析を行うには試料ステージの自動化の必要がありました。 マッピング測定は，透過，反射法ではX，Y方向のステージの移動だけで，可能となりますが，ATR法では，試料とプリズムの密着を一旦はずしてから再度別の位置で密着をさせる必要があります。 このためには，X，Yに加え，Z軸方向も制御可能な，オートステージ機能をもたせる必要がありました。 今回紹介するAIM-8000，μIR-8000形は，X，Y，Z三方向のオートステージを備えた赤外顕微鏡であり，上記のような要求にも標準仕様で応えることができます。

2006.06.01