顕微ラマン分光法による多層フィルムの測定

はじめに

多層フィルムの分析方法としては，試料断面をミクロトームで切り出して得られた切片を顕微FTIR法を用いて測定するというのが一般的です。この場合，一層の厚さが10μｍ以下になると定性が困難となります。一方，顕微ラマン分光法においては，空間分解能が１μｍ程度と小さいことから，10μｍ以下の層でも測定が可能なことはアプリケーションニュースNo.A269でもご紹介しました。 顕微ラマン分光法においては，さらに，用いる励起光に対し透明な試料については，フォーカス位置を変化させることにより，異なる深さでの情報が得られるという特長があります。この特長を生かすことにより，多層フィルムの表面からフォーカスを変えていくだけで，前処理の必要なく各層のスペクトルを測定することができます。 ここでは，２種類の多層フィルムをフォーカスを変えながら測定した結果をご紹介します。

1999.07.04