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はじめに

SPM の一種である原子間力顕微鏡(AFM)は,非常に小さな板ばね状のカンチレバーを試料表面に近づけ,そのたわみを検出することで導体・不導体を問わず,真空中・空気中・液中など様々な条件下で高倍率の表面観察が可能です.また,水平力顕微鏡機能(LFM モード)では,カンチレバーのねじれ変位を検出することで,探針と試料の間に働く水平力(摩擦力)を測定することが可能です.この機能を使うことで,nN オーダーの超微小荷重下での摩擦力の測定ができます.今回,その LFM モードを用いた摩擦試験の一例を示します.

2007.09.26