超撥水膜のＡＦＭ観察と水平力測定

はじめに

SPM の一種である原子間力顕微鏡(AFM)は，非常に小さな板ばね状のカンチレバーを試料表面に近づけ，そのたわみを検出することで導体・不導体を問わず，真空中・空気中・液中など様々な条件下で高倍率の表面観察が可能です．また，水平力顕微鏡機能（LFM モード）では，カンチレバーのねじれ変位を検出することで，探針と試料の間に働く水平力(摩擦力)を測定することが可能です．この機能を使うことで，nN オーダーの超微小荷重下での摩擦力の測定ができます．今回，その LFM モードを用いた摩擦試験の一例を示します．

2007.09.26