X線照射による有機物の表面劣化

はじめに

XPS（X 線光電子分光法：X-ray Photoelectron Spectroscopy）は、物質表面約 10 nm に存在する元素の定性・定量分析に加え、化学結合状態の分析が可能な表面分析手法です。 この手法は、試料に軟 X 線を照射し、物質内部で発生した光電子を観測するため、非破壊分析として知られます。しかしながら、物質によっては X 線照射によるダメージを受け、表面の化学状態が変化するものも存在します。ダメージを受けた物質表面からは、本来の化学状態を反映した正しいデータを得ることができません。このため、測定中に試料が受けるダメージを定量的に把握することが重要です。 ここでは、照射する X 線の出力を変えて同一試料を測定し、試料に与える影響を評価した例をご紹介します。

2018.12.12