X線回折法を用いた薄膜の応力測定

はじめに

X線応力測定法は結晶中に発生する微視的な歪を計測して残留応力を求める方法で，形状が複雑な部分や欠陥部など局所の応力分布を測定できる特徴があり，広く材料強度評価に用いられています。また最近は金属メッキ処理品やセラッミクスコート材，工具鋼の表面硬化処理品など薄膜の応力測定にも多く利用されるようになってきました。ここではそのような膜の応力測定の測定法の特徴と留意すべき点を説明し，応用例として工具鋼のダイヤモンドコート処理品について紹介します。

2006.07.31