X線回折法による薄膜の測定（2）

はじめに

X線回折法は、薄膜の結晶状態を知るための実用的な手法としてすでに広く使用されています。X線回折法の適用可能は膜厚は、従来数100Åとされていましたが、新しい薄膜試料台によりさらに薄い膜まで測定可能となりました。これは試料非対称配置ー低角度X線入射によって実効的な試料の厚さをますものであります。これにより、試料の結晶状態にもよりますが、100Åまたはそれ以下の厚さの薄膜においても、優先方位の影響を除いたX線回折パターンを得ることができます。ここではAℓ、Cr、Auの3種類の薄膜の測定例をご紹介します。

2006.07.31