X線回折装置XRD-6100による化合物系（CIGS）太陽電池の分析

はじめに

現在実用化されている太陽電池の多くはシリコンを用いたものですが，近年シリコンを使用しない化合物系の太陽電池が注目されています。化合物系太陽電池は，スパッタリング等によって基板上に成膜し，化合物を堆積させて作られており，その化合物の結晶構造を確認する方法としてX線回折は大変有効です。 ここでは，Cu，In，Ga，Seを使用したCIGS層について，ガラス基板上に成膜する条件を変えた場合の結晶性や配向性の違いをXRD-6100で分析して確認した例をご紹介します。

2010.11.14