SPM によるナノ粒子へのアプローチ観察と大小混在するナノ粒子の粒度分布解析

はじめに

ナノ粒子は、磁気データ記憶、光触媒、バイオセンシング、ドラッグデリバリーシステム（DDS）など、様々な分野で使用されています。ナノ粒子の形状や大きさなどは、それらの製品性能を左右するため、厳密な品質管理が必要とされます。例えば、シリコンウエハーやその他のマイクロチップ用半導体基板を製造する際の研磨剤として使用される場合は、粒子径の均一性が重要となります。また、バイオセンシングなど、ナノ粒子の光学特性を利用した用途では、サイズだけでなく、形状も重要となります。 走査型プローブ顕微鏡（SPM）は、試料表面を微小なプローブで走査し、試料の三次元形状や局所的な物性を観察できる顕微鏡です。ナノメートルオーダーの分解能を誇り、ナノ粒子の形状を詳細に観察したり、粒子径を計測することができます。また、観察・測定の雰囲気を選ばず、試料の導電性も必要としないため、シリカ、金属、ポリマー、生体材料など様々な素材のナノ粒子に対して分析を行うことが可能です。ここでは、SPM によるナノ粒子の形状観察と粒度分布解析の事例をご紹介致します。

2020.07.30