多層フィルム内部の異物の観察と計測－フィルム内部のレーザー顕微鏡観察と計測を可能にする油浸対物レンズ－

はじめに

製品製造における大事な工程管理のひとつが異物管理です。とくに高機能性を持たせた透明多層フィルムでは異物の混入は性能劣化をともなうために絶対に避けなければなりません。異物混入や付着が発生した場合は，異物が表面にあるのか？または内部にあるのか？さらに多層フィルムの場合では異物が何層目にあるのか？を突き止めることが異物混入の原因究明と対策に重要となります。 表面観察に用いるレーザー顕微鏡（LSM）はレーザー反射光を利用しているため一般的にフィルムの内部は見え難くなります。今回，フィルムの内部のLSM 観察を可能にする油浸対物レンズを用いた手法をご紹介します。

2021.03.27