光学結晶の不良解析事例

はじめに

光学結晶は様々な電気電子デバイスや光学素子などに利用されていますが、変色や曇りなど、結晶に不具合が発生した場合、それを利用している製品の品質を大きく損なうことが考えられます。今回は光学結晶の不良解析事例として、結晶表面に曇りが発生した事例の解析方法をご紹介します。 XPS（X 線光電子分光法：X-ray Photoelectron Spectroscopy）は表面分析手法です。固体表面に軟 X 線を照射したときに放出される光電子のエネルギーを測定することで、物質表面近傍の元素の定性・定量分析、化学結合状態の分析ができます。XPS は非破壊で試料表面から約 10 nm を分析する手法であり、表面の化学結合状態の分析において非常に有効な手法となっています。

2020.07.30