蛍光増倍管とFPD検出器とのX線透視画像の歪検証

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はじめに

現在、工業用X線透視装置の受光部には蛍光増倍管(I.I)が使用されていますが、近年これに代わり、FPD検出器が採用されつつあります。 FPD検出器を使用することにより、装置をコンパクトに出来る事や、画像に歪が出ない事などの理由から今後普及するものと思われます。 今回、画像の歪について蛍光増倍管を使用したX線検査装置(当社製品)とFPD検出器使用の島津マイクロフォーカスX線透視検査装置(SMX-1000)の二つの装置で、ハンダボールを対象に画像歪について検証を行ないましたのでその結果を報告致します。

2021.03.28

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