プラスチック硬さ測定アナライザー（DUH-210）
島津ダイナミック超微小硬度計DUH-W201Sによる薄膜ばねのばね定数の算定
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はじめに
近年、様々な用途に使用される部品は、小型・軽量化のためマイクロマシニング技術により微細化してきています。電子デバイス等に用いられる薄膜ばねもマイクロパーツの一例で、品質管理のため、ばね定数の測定がなされています。 ここでは、島津ダイナミック超微小硬度計の試験力と深さ（変位）の関係を応用して、薄膜ばねのばね定数を算定した事例について紹介します。
2003.02.12
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