島津微小圧縮試験機MCT-W500によるボンディングワイヤAuボールの圧縮試験と変形観察

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はじめに

ワイヤボンディングの方式には大きく分けてサーモコンプレッション(熱圧着)方式とサーモソニック(超音波熱圧着)方式があります。 これらの中で主流となってきているサーモソニック方式においては、圧着のための力と変位(変形)の関係を把握しておくことが重要となります。 以前、島津試験 CSC ニュース No.223 では「スタッド金バンプの圧縮試験」について紹介いたしましたが、今回はボンディングワイヤ端部 Au ボールに対する圧縮試験を行い、試験力と変位の関係を調べ、またその変形状況をサイド観察した例について紹介します。

2006.11.26

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