SPM-8100FM - 仕様
走査型プローブ顕微鏡 (Scanning Probe Microscope)
主な仕様
1.SPMユニット
| 分解能 | XY：0.2 nm，Z：0.01 nm | |
| SPMヘッド | 変位検出系 | 光源／光てこ／検出器 |
| 光源 | レーザーダイオード （635 nm，5 mWmax，On／Off可能） 試料交換中もカンチレバーに対して連続照射 |
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| 検出器 | フォトディテクター | |
| 変位換算ノイズレベル | 20fm/√Hz以下 | |
| スキャナ | 駆動素子 | チューブ型ピエゾ素子 |
| 最大走査範囲 | 10 μm × 10 μm × 1 μm（X・Y・Z） | |
| ステージ | 試料最大形状 | Φ38 mm × 8 mm |
| 試料交換方式 | ヘッドスライド機構 | |
| 試料固定方式 | マグネットによる固定 | |
| XYステージ | 10 mm × 10 mm | |
| Z軸粗動機構 | 方式 | ステッピングモーターによる全自動機構 |
| 最大可動範囲 | 10mm | |
| 光学顕微鏡 | CCD | 素子サイズ：1/3インチ |
| 有効画素数：1024×768 | ||
| レンズ | 作動距離：65mm | |
| 光学倍率：4倍 | ||
| 照明 | 同軸落射照明 | |
| 除振機構 | 除振台 | SPMユニットに内蔵 |
2.制御ユニット
| コントロールユニット | フィードバック | デジタル制御方式 |
| 通信インターフェイス | 1000Base-T，TCP／IPプロトコル | |
| ドライバユニット | X･Y軸制御 | －211～＋211 V／16 bit |
| Z軸制御 | －211～＋211 V／16 bit | |
| アナログユニット | 入力電圧 | －10～10 V |
| 分解能 | 16 bit | |
| サンプリング周波数 | 200 kHz | |
| 入力信号 | 8系統 |
3.ソフトウェア
| オンライン | 観察画面 | 最大8画面 同時表示可能 走査中の断面形状の表示が可能 |
| 走査モード | XY，ZX，ZXY 切替可能 | |
| コントロール画面 | 観察条件の設定が可能 | |
| オフライン | 一覧表示 | サムネイルによる一覧表示が可能 |
| 画像表示，解析 | 画像データの表示，画像処理・解析が可能 三次元マッピングデータの表示，解析が可能 |
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装置外観
