CFP-8000 - 仕様

前処理セット

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仕様

ポンプ性能

試料ガス供給量　最大5L/min（50Hzにて）
クーラー性能

約7℃以下（ガス流量1.5L/min，周囲温度20℃）
フィルタ性能

0.3μm以下に対し捕集効率85%以上
大きさ

約W305×D482×H513mm
重さ

約12kg
電源

AC100V，150VA（最大）

※外観および仕様は改良のため，予告なく変更することがあります。

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