プリント基板表面の金属マイグレーション

電子線マイクロアナライザ

非破壊的な分析法として細く絞った電子線を試料に照射し、微小部における元素組成を明らかにします。試料のミクロン領域を高感度で元素分析する装置ですす。サブミクロンオーダー定量分析と同時にSEM像を確認し，形状検査にも利用できます。異物等があれば，直ちに原因解析を行なえます。