多層フィルム内部の異物の観察と計測(2)
- 油浸対物レンズによるフィルム内部のレーザー顕微鏡観察 -

油浸対物レンズとは

油浸体物レンズを図1に示します。油浸対物レンズと試料の間は，屈折率 n_oil= 1.516(23 ℃)の専用のイマージョンオイルで満たします。これによりオイルを介したレーザー観察が行なえます。空気の場合と異なり，オイルとフィルムの屈折率差はきわめて小さくなります。これにより反射を抑え，レーザーの透過率を大きくできることから，フィルム内部の観察を行なえる可能性が高くなります。

PVC層の深さ100µmまでのLSM断面観察を図4に示します。この結果から，さまざまな大きさの無数の異物の存在とその層内での分布がわかります。図4からPVC層の表層から中間部に比較的多くの異物が集まっていることがわかります。